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丁馳雖然不清楚茵仙等人的具體操作,但也能想像到其與假想敵正斗的不可開交。趁着敵人無瑕多顧之際,正是大干特干加油乾的好時候,公司上下幹勁十足,僅月余時間進度就非常可觀。
這天一早,焦甄就邀請丁馳和諸葛默然到車間參觀。當然了,做為非科研人員,參觀只能在外圍,只能隔着玻璃。
雖然同在一個院落,但由於分工不同,加之高精度產品的特殊性,丁馳很少到車間,那樣他麻煩,別人也麻煩。今天就為了這個參觀,丁馳全身都進行了「武裝」——白大褂、頭套、鞋套、手套,還溫習了相關注意事項。
步入參觀走廊,焦甄抬手示意:「丁老闆、諸葛老,請看,這是製作晶圓程序。晶圓的成分是矽,是由石英沙精練出來的,咱們這是高純度外晶圓,純化率達到了八個九。咱們直接購進的矽晶棒,也就省去了前面精練的過程,因此程序第一步就是製作晶圓,把矽晶棒切片。晶圓越薄,出產率越高,生產成本就越低,但對工藝要求就越高。從近幾天的操作來看,這道工序非常成功,足見我們的設備和人員都是過硬的。」
耳邊聽着講解,仔細盯着裏面的操作,丁馳暗暗點頭:不錯,確實不錯。雖然他不夠專業,但也絕不外行,畢竟忙活了這麼長時間,還在首都奮忠電子廠專門實習過。
三人接着往前走,又到了下一道工序——晶圓塗膜。
焦甄繼續介紹:「塗膜就是在晶圓表面塗一層光刻膠,就是鄭工現在拿的那個,再把這層膠烘乾,之後就會傳送到光刻機裏面。別看只是塗膠,但講究非常多,均勻度、密度都有嚴格要求,這也是影響抗氧化和耐溫能力的重要步驟,可以說是差之毫厘,不,差之納米,謬之千里。」
「這下一步就輪到光刻了,這裏面步驟很多,我們在這裏好多看不到。首先要用紫外光照射,不是直接照,是通過光罩和凸透鏡照,把晶圓上塗膜照的軟化了。之後再……」
焦甄滔滔不絕,滿臉喜色,就好似父親談論自己的孩子一樣,喜愛之情顯而易見。
花了一個多小時時間,焦甄向丁馳和諸葛默然介紹完「孩子」,把二人送出了生產車間。
「丁老闆、諸葛老,今天我們要做第一塊光刻電路,各項準備工作非常充分,前期進展也很是順暢,您二位就等着我們勝利的消息吧。」焦甄信心十足。
「好,共同期待。」與焦甄握手辭別,丁馳和諸葛默然一同離去,分別回了各自辦公室。
愜意的靠在椅背上,丁馳非常舒心。想想從開始的艱難起步,到現在的設備齊全、進展順利,真是感慨良多。
留待以後感慨吧,鼓足幹勁,繼續前進。想至此,丁馳坐正身體,繼續處理着手頭工作。
忙忙碌碌中,一天時間很快過去,丁馳伸了個懶腰,準備去吃晚飯。
「噔噔噔」,一陣急促腳步聲忽然傳來。
緊跟着就是「篤篤」的敲門聲。
「進來。」
丁馳話音剛落,屋門打開,焦甄快步進來。看到對方神色,丁馳頓有一種不好預感。
果然,焦甄開口便是「光刻失敗了」。
儘管多少有點失落,但丁馳還是馬上道:「很正常,哪有一次就成功的。」
「清洗矽片時,從化學清洗到漂洗再到烘乾我都全程盯着,預烘、底膠塗覆、光刻膠塗覆、前烘、對準我也在場,顯影、堅膜、刻蝕、離子注入時更是一刻不離,沒發現有任何不妥,全是嚴格按規程和步驟操作呀。可是最終光刻線路結構卻出現了偏差,根本達不到要求。」焦甄說到這裏,長長打了個唉聲:「唉……丁老闆,我這也……」
丁馳連連擺手:「沒事,沒事,再正常不過了,查漏補缺,進一步完善。」
連着打了幾個唉聲,焦甄急匆匆離去,查找原因去了。
正這時,諸葛默然來了,他也聽說了光刻失敗的事。二人一同奔向食堂,邊走邊聊。
諸葛默然抬手一指:「剛才老遠看見焦甄,從那邊急吼吼的走過,頭也不抬,顯見上火了。這段時間以來,焦甄就跟充了氣似的,渾身有用不完的勁,每天都工作十四五個小時,除了睡那幾個小時外,幾乎就沒離開過崗位。這段時間裏,整個研發也進展迅速,他的心氣更高,這冷不丁的沒弄成,心裏自然不好受。」
丁馳點頭道:「是呀。剛才我勸他莫要着急上火,顯然他也沒聽進去,滿腦子都在盤算着工作。等到有時間,您也幫着勸一勸,不要把弦繃的那麼緊,否則長時間下去肯定受不了。」
「看時間吧,稍過幾天再說,現在他也聽不進去,很可能還會適得其反。」
說話間,二人進了食堂。
吃過晚飯,在院子裏隨便溜達了兩圈,丁馳又回到自己屋子,處理起了手頭工作。
晚上十一點多,丁馳正準備休息時,焦甄又來了。
「我們交叉互換,核查了所有程序,前面的流程沒發現任何問題,現在正在進行最後一步核查——去除光刻膠。他們正在查操作步驟,也在論證操作方式的合理性。丁老闆,你放心,就是連着幾夜不睡,也一定要把問題找出來。」焦甄咬着牙道。
丁馳指着鐘錶說:「馬上就十二點了,讓大家都休息吧,老這麼撐着也不行。還是那句話,首次弄這個,太正常了,沒必要耿耿於懷。」
「睡也睡不着,哪有心思睡?我來就是告訴你,我們一定會第一時間查出問題,一定會引以為戒。好了,你睡覺吧,我走了。」焦甄說完,不等丁馳回復,轉身便走。
丁馳跟出兩步,想了想,又轉身回了屋子。
「太拗了,這算優點還是缺點。」丁馳輕輕搖頭,進了裏屋臥室。
儘管時間已經很晚,可丁馳躺在床上就是睡不着,翻來覆去的折騰着。按說自己對今天的事看的非常淡,根本沒往心裏去,咋就睡不着呢?
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