科技強國從升級鏡頭開始 第125章 改良方案

    計劃歸計劃,該拆的設備還是得拆。隨夢小說網 http://m.suimeng.co/

不過康馳也不用把它拆得非常零散,只需要把幾個模塊給分開就行了。

反正這玩意拆了外殼,誰也不認不出是什麼東西。

由於工作量比較大,康馳只能在東陽又多停留了一周,

同時在拆解休息的時候,他還抽空看了看常春光所的euv設計圖,把圖紙都給吃透得差不多了。

在光刻機的euv光源中,有兩個相對成熟可靠的方案,即dpp和lpp方案。

這兩個方案,其實原理都是差不多的,就是利用錫轉換成等離子體的過程中,可以釋放出極紫外光,

區別只是dpp是用電擊錫來激活,lpp是用激光二次打擊錫液激活。

按照華國的一貫風格,自然是啥都要試試,

所以目前這兩個方案,分別由常春光所、魔都光所負責研發。

其中魔都光所的lpp方案,進展其實是最快的,據說功率已經達到了188w,轉換效率為37,基本能夠進入實用化了。

但lpp方案中所需的脈衝大功率二氧化碳激光器,依然沒有攻克,目前只有國和島國能夠生產,和euv光刻機一樣有錢也買不到。

所以雖然阿斯麥的euv光刻機,用的就是這個方案,算是給華國指明了方向,但因為專利壁壘和禁售,挑戰反而更大。

反觀dpp方案,則可以避開專利壁壘,同時它的前景也更大,因為它是直接將電能轉化為等離子體能,光源結構簡單,隨着技術成熟相對容易提升功率,

如果能把同步輻射光源的加速器小型化,那麼dpp方案也將會有更大的應用前景。

這也是康馳選擇常春光所dpp方案的主要原因。

在吃透了常春光所的圖紙,並分析出了他們目前遇到的困難和技術缺陷後,康馳又花了幾天的時間,對這套方案進行了改良設計,然後把硬盤交給了陳海,讓他安排人送到常春去。

當何永收到硬盤,得知康馳已經對方案完成了改良設計後,忍不住掏出手機,確認了一下日期。

「這才過了十天,你確定他把圖紙看明白了?」

負責送圖紙的賴慶雷搖了搖頭:「抱歉,我只是個送圖紙的,技術層面的東西我也不知道,不過我覺得康博士應該不至於開這種低級玩笑。」

「是嗎?」何永冷笑道,「我怎麼覺得他老愛開玩笑。」

接過硬盤後,何永也忍不住立刻回到辦公室,好奇地打開裏面的圖紙,想看看康馳所謂的改良方案是真是假。

打開第一張整體結構圖,何永一眼就看出,這和他們原本的設計有很大的區別。

所以,他真對設計圖進行了改良?

而從消化圖紙,到完成改良設計,他僅僅只用了十天?!

先不說改良的方案到底行不行,光是這個效率,就讓何永感到有些難以置信。

短暫的驚訝過後,何永便把設計圖放大,仔細分析起了裏面的改變,眉頭也逐漸開始皺了起來。

「磁場約束?」

看着包裹着兩個電極的麻花狀線條,何永總感覺似乎在哪裏看過類似的設計結構……

沒看出什麼名堂的何永,試着根據康馳在整體結構圖上的註解,找到了這個麻花狀的詳細分解圖。

然後他頓時就瞪大了眼睛。

他終於知道自己在哪,看過類似的結構了。

這是……

仿星器!

這結構,太像可控核聚變的重要技術路線——仿星器的磁場環了!

開什麼玩笑?!


我們這是在造euv光源,不是搞核聚變的!

就算你把仿星器設計出來了,是憑我們就能造出來的嗎?!

何永看到這張圖的第一眼,只覺得這太離譜了,

但多看兩眼之後,他很快就發現,它雖然像仿星器,但實際上卻和仿星器還是有比較大的區別。

仿星器的設計,是個完美的閉環磁場,而這個顯然是個開環,結構也相對簡單很多。

何永又看了看這張圖的技術說明,很快就理解了康馳這套改良方案,具體的原理是什麼。

在dpp-euv方案中,最大的問題,就是在電離錫的時候,會產生大量的錫碎屑,

這些碎屑溫度極高,很容易腐蝕、污染電極和設備,

尤其是收集光線的反射鏡,

一旦受損,收集光線的效率就會直線降低。

所以康馳就用了一個類似仿星器的磁約束原理,製造一股無形的『風』,把這些電離過程中產生的錫碎屑,沿着設計好的磁場路線吹出去。

想法是很好,但這可能實現嗎?

先不說這個強磁場能不能造出來,就算造出來了,這麼強的磁場,會不會對設備的其它部件,造成干擾影響?

而且除了這個磁場清理碎屑的改良點,何永在接下來,還發現了康馳另外一個更瘋狂的改良。

錫本來應該塗抹在電極上的,

但康馳直接在電極中間加了個噴嘴,把錫加熱到2260度,變成氣體噴出去!

原理其實和燃油發動機有點像,噴油嘴噴油,然後火花塞點火,

區別只是一個燃燒膨脹作功,一個電離發光。

這麼做有個好處,就是能夠解決重頻放電的光源穩定性,同時很容易增大光源功率。

但這一切的前提,都是那個像仿星器的磁場設計,到底行不行。

如果這套磁場設計不行的話,錫氣一噴,整個裝置就毀了。

想到這裏,何永立即召開了一場技術研討會,直接在會議上公佈了康馳的改良方案。

當看到康馳的方案,並聽完何永的講解後,整個會議室頓時就陷入了很長一段時間的沉默。

所有人都被這個大膽而瘋狂的方案給震住了。

而何永也給了他們充足的時間,來消化這些信息。

過了足足三分鐘,才終於有人開口問道:「這……能行嗎?」

「我也不知道。」何永看了眾人一眼,

「從理論上來說,這確實是一個方向,但具體能不能實現,得先對這個設計理論進行模擬驗證……老廖,磁場這塊你比較擅長,所以磁場分析就交給伱了。」

被點到名的廖遠點了點頭:「給我兩天時間。」

何永隨即又把目光,放在了另一位五十多歲的老者身上:「老許,你過來先仔細研究一下設計圖,看看有多少把握造能造出來。」

隨後何永便把位置讓了出來。

老許對着電腦,研究了大概半個多小時的圖紙,最後才點頭道:「應該沒太大問題。」

「這雖然看着像仿星器,但實際上它的要求沒這麼苛刻,仿星器需要控制的是核聚變,不但對磁力要求特別大,還得不能有絲毫的偏差,但這個只需要大概控制住磁場的走向,設備精度要求低一些,體積也不算大。」

何永聽完頓時就放心了,

接下來,就等設計理論模擬驗證的結果了。

(本章完)


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